中央精机CHUO SEIK ALZ-7013-G1M-RS

移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 70mm×70mm
使用モータ PK523HPB相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）
移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.002mm
移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め精度 0.012mm
繰り返し精度 ±0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.06sec/N?cm、ピッチ剛性　0.08sec/N?cm、ロール剛性　0.08sec/N?cm
耐荷重 19.6N（2kgf）
質量 0.93kg
最高速度 10mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3
スケール型式 GSI製マーキュリー（テープスケール、ケーブル3m）
スケール分解能 5μm～0.05μm
スケール精度 ±60nm/0.02mm