中央精机CHUO SEIK ALZ-510-H1S

移動方向 Z軸1方向
移動量 ±50mm
ステージ面 150mm×200mm
使用モータ PK545相当　電磁ブレーキ付（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.001mm
移動精度YP ヨーイング?ピッチング6sec
位置決め精度 0.005mm
繰り返し精度 ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.03sec/N?cm、ピッチ剛性　0.05sec/N?cm、ロール剛性　0.03sec/N?cm
耐荷重 98N（10kgf）
質量 20.7kg
最高速度 10mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 鋼材／カニゼンメッキ（テーブル）、塗装（ベース、ブラケット）
原点センサ ノーマルオープン接点（メイク接点、Ａ接点）動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3