中央精机CHUO SEIKI ALS-105-H1S-S

移動方向 X軸1方向
移動量 ±25mm
ステージ面 125mm×160mm
使用モータ PK545NBW相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.0008mm
移動精度YP ヨーイング?ピッチング6sec
位置決め精度 0.003mm
繰り返し精度 ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.05sec/N?cm、ピッチ剛性　0.05sec/N?cm、ロール剛性　0.03sec/N?cm
耐荷重 392N（40kgf）
質量 8.2kg
最高速度 16mm/s（8,000pps時）
主要材質/表面処理 鋼材／カニゼンメッキ（テーブル）、塗装（ベース）
原点センサ ノーマルオープン接点（メイク接点、Ａ接点）動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3
スケール型式 GSI製マーキュリー（ガラススケール、ケーブル長1m）